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永宏PLC在低溫等離子體處理儀應用

2015-6-26 11:08:42 人評論 次瀏覽 分類:永宏應用案例

一、設備簡介
1、特點: 
   一鍵式操作,使用方便;
   腔體容積大,處理樣品數量多;
   離子濃度高,效率高; 
   結構緊湊,經濟使用; 
   放電均勻,裝卸料方便;
   微機自動控制,操作方便; 
   高性能參數控制元件,參數控制精度高,重復性好。
2、應用: 
    表面清洗:如粘結前、錫焊前或電鍍前的表面處理; 
    表面活化:如生物材料的表面修飾,印刷前、上漆前或粘結前的表面處理; 
    表面刻蝕:如硅的微細加工、聚四氟乙烯件表面刻蝕處理; 
    表面接枝:如材料表面特定基團的產生和表面活化的固定,避免時效性; 
    表面沉積:如疏水性或親水性層等的離子體聚合沉積。 
1.1.jpg



二、系統架構
主要產品功能規(guī)格
(1) 控制器:永宏FBs-20MA主機,12點DI,8點DO,繼電器輸出;FBS-B2A1D、FBS—4A2D;
(2) 比例閥:PLC通過0-5V模擬量控制比例閥的開始量;
(3) 真空計:儀表測出真空度同時輸出0—5V的非線性模擬量。
(4) 人機界面:通過RS232以永宏協議與永宏PLC進行通信。

系統結構:
核心部分,永宏PLC作為控制器,承擔著信號采集、處理,輸出的任務;
上位部分,人機介面通過port0與PLC通訊,可對設備進行操及工作參數的調整,同時監(jiān)控當前狀況;
下位部分,主要是通過PLC輸控制真空電機的啟動停止,同時通過模擬量輸出來控制比例閥的開始量,通過模擬量輸入來采集真空度、進氣流量。

I/O配置 

1.2.jpg



三、工作流程 

1.3.jpg


1、一遍處理程序:
在觸摸屏上設定:處理功率、進氣流量(兩路)、處理時間三個參數。 

1.4.jpg
2、兩遍處理程序:
在觸摸屏上分別設定:
第一遍的處理參數:處理功率、進氣流量(兩路)、處理時間。
第一遍的處理參數:處理功率、進氣流量(兩路)、處理時間。 
1.5.jpg


注:清洗參數與進氣參數不一樣。
3、接枝管路清洗
在觸摸屏上選擇:“接枝管路清洗功能”,顯示清洗進行的時間 


1.6.jpg



四、結束語
永宏PLC以它的高精度、高穩(wěn)定性及超高的性價比,使其在實驗設備中得
到廣泛的應用;此低溫等離子體處理儀使用永宏PLC作為控制核心,使其穩(wěn)定性及控制放電功率方面的精度有大大的提高。



作者:王遠東 
 
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